更新時間:2012-01-05
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1、無油真空泵工作時産(chǎn)生的振動對工藝過程及環境有無影響。若工藝過程不允許,應選擇無振動的泵或者採(cǎi)取防振動措施。
2、瞭(le)解被抽氣體成分,氣體中含不含可凝蒸氣,有無顆粒灰塵,有無腐蝕性等。選擇真空泵時,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應的泵。如果氣體中含有蒸氣、顆粒、及腐蝕性氣體,應該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設備(bèi),如冷凝器、除塵器等。
3、無油真空泵在其工作壓強下,應能排走真空設備(bèi)工藝過程中産(chǎn)生的全部氣體量。
4、正確(què)地組合真空泵。由於(yú)無油真空泵有選擇性抽氣,因而,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求。如钛升華泵對氫有很高的抽速,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,(或二極型非對(duì)稱(chēng)陰極濺射離子泵)對(duì)氩有一定的抽速,兩者組合起來,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,有的真空泵不能在大氣壓下工作,需要預真空;有的真空泵出口壓強低於(yú)大氣壓,需要前級泵,故都需要把泵組合起來使用。
5、真空設備(bèi)對油污染的要求。若設備(bèi)嚴格要求無油時,應該選各種無油泵,如:水環泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴格,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,如加冷阱、障闆、擋油阱等,也能達(dá)到清潔真空要求。
6、正確(què)地選擇無油真空泵的工作點(diǎn)。每種泵都有一定的工作壓強範圍,因而,泵的工作點(diǎn)應該選在這個範圍之内較爲适宜,而不能讓它在25~30mmHg下長期工作。
7、無油真空泵排出來的油蒸氣對(duì)環(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,可以選無油真空泵,或者把油蒸氣排到室外。
8、無油真空泵的工作壓強應該(gāi)滿足真空設備(bèi)的極限真空及工作壓強要求。如:某真空幹燥工藝要求10mmHg的工作真空度,選(xuǎn)用的真空泵的極(jí)限真空度至少要2mmHg,好能達到1mmHg。通常選擇泵的極限真空度要高於(yú)真空設備(bèi)工作真空度半個到一個數量級。
9、無油真空泵的價(jià)格、運轉及維修費(fèi)用。
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